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第434章（第1页）

相反如果自己没有05微米的工艺，国际上肯定就不会卖给你05微米的设备。即使卖给你了，那也是看你即将突破这项工艺，放水把你自家地里的苗淹死而已。如果你丝毫没有解决05微米工艺技术的迹象，人家也不会傻傻的上来卖给你这个设备。和几千万的生产设备相比，直接卖芯片就好赚的多了。

涂岸北在心里默默吐槽，这根本就是先有鸡还是先有蛋的问题啊！我裤子都脱了你就给我看这个？

当然，1995年的涂老先生还没那么潮，他即听不懂什么叫接盘侠，也不懂脱裤我看的梗。但这里面的中心思想是不会改变的。

周硕看着涂岸北和他身边一群人快被自己忽悠瘸的眼神，情不自禁哈哈大笑起来。他笑了一阵，摆了摆手说道：“好了，不卖关子了。其实说白了，我手里有一项技术可以在短时间内把08微米工艺提高到05微米水平上来。但是以国内目前的芯片制造工艺水平，没有大规模推广的可能。所以我们要制造泛翰研究所已经突破05微米技术难关的假象，然后等日本人急不可耐的把设备卖给咱们。”

涂岸北不由恍然大悟道：“原来如此！我就说周校长你不会是无的放矢的人嘛。最后一个问题，你要怎么在这么短的时间里，把工艺提高到05微米？”

周硕背着手，得意的笑道：“道理其实很简单，那就是用水。”

“水？”涂岸北脑袋里划过一丝灵感，若有所思的念叨着。

第二百六十四章水的奥秘

“水，而且是18兆欧的去离子纯水。”周硕用力的点了点头。

水，我们这个星球上面无数生命的源泉。它由一个氧原子和两个氢原子组成，在常温常压下为无色无味的透明液体。

它有很多的物理特性，比如说温度不同导致的密度和形态变化，重水、轻水、超临界水等不同的特殊状态，以及流动性、热传导性、溶解性和导电性等等，这种地球上最常见、可以说是成分最简单的物质之一，想要写完它的全部知识却需要一本最厚的书。

但具体到光刻机技术上，为什么周硕说水可以让08微米工艺，短时间内跨越到05微米技术？

这还要从光刻机工艺提升的两个方向说起。

所谓的制程工艺，究竟指的是什么呢？制程，实际上就是单晶硅晶圆上面的线宽。构成集成电路的基础，是单晶硅圆片上通过光刻腐蚀出来的线条。这些线条的粗细，也就决定了同一块芯片能够集成多少晶体管，能够达到什么样的性能。

而光刻机上决定线宽的因素，主要是光源和镜片这两种。光刻机生产芯片，其本质上和照相机并无太大区别。光线照射景物然后反射到照相机的镜头上，最后在胶片上形成影像。这个影像不就是比实物要小的多的多了吗？

同样，光刻机在单晶硅圆片上留下来的线条，可也不是一笔一笔刻上去的。而是通过对光学掩膜版进行曝光，然后让这些设计好的逻辑电路影像通过一组组镜头。最终得到比掩膜版要小得多的图像。这样对光敏感的光刻胶，就会被有选择的光照所去除。这些没有光刻胶覆盖的晶圆部分。就会在接下来的工艺中成为晶体管的结构基础。

不断的追求镜片加工极限，就是光刻机提高工艺水平的主流选择。这也是为什么全世界只有三家光刻机生产商。而最为著名的就是日本尼康和荷兰阿斯麦（asl）。尼康本身就是日本战前做潜艇潜望镜的厂家，后来则是相机业的霸主。而阿斯麦的镜头则来自于卡尔蔡司，这家公司干嘛的就不用说了，地球人都知道。光刻机离开了这两家光学企业，什么摩尔定律都得去见鬼。

当然，这并不是说就没有其他办法来提高工艺条件了。除了镜头，实际上使用何种光源也会导致线宽的不同。不同波长的光波，就如不同规格的刻刀。波长越短的光波，就能够在光刻胶上留下越细的痕迹。最早的光刻机因为加工精度不高。使用的汞灯只能提供365n的i线光。后来更换了准分子激光之后，光波才降低到了193n的激光。

未来想要缩小刻蚀的分辨率，甚至还要继续上14n的极紫外光。至于10纳米以下，可能人类的科技就已经研究出其他的加工方式了吧。

当然这些只是不准确的科普说法，如果具体要解释一下光波和刻蚀分辨率的关系，或者解释一下照准系统的最大分辨率概念之类的……

本书的长度恐怕会有些不足，以及略有骗稿费的嫌疑。虽然这些知识如果真的讲出来千字3分就太便宜了。本着经不轻传的道理（其实作者也不懂）就不多说了。

言归正传，涂岸北脑海中灵光一现，正是水的一种特性。那就是光通过液体介质后光源波长就会缩短。其缩短的倍率即为液体介质的折射率。也就是说光刻机的光源如果在照射到光刻胶之前先在水中穿行一次，就相当于换了一个更细的刻刀。

而水的折射率是144，当08微米波长的光线穿过水之后，08除以144岂不正是056微米？如果这项技术真的有可行性。那确实是可以在不提高精密制造水平的前提下，得到更高一代的芯片制程技术。

这么简单的原理，周硕当然不是第一个想到的。用水缩短光源的波长来提高制程工艺。是未来光刻机普遍采用的技术。也就是学名叫做沉浸式光刻机的设备。通过不断努力，未来的光刻机早就已经实现了这项技术。不仅是折射率144的水。更开发出折射率更高的液体。沉浸液成为镜片和光源之外，第三个能够快速减小线宽的因素。

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