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第761章（第1页）

周硕笑了笑，不置一词的拉开实验室的门，伸手请到：“接下来就请王总看看我们研发的ito光刻机吧，这可是液晶生产线的核心设备了。”

王中阳对此倒是没有多少惊讶，当即点头道：“早就听说泛翰集团在光刻机技术上，已经是国内最顶级的企业。ito光刻机的技术怎么说也不会比单晶硅光刻机更难，我相信你们一定能够有实力研发出来。”

所谓ito，就是导电玻璃。当然，玻璃本身是不会导电的。而是在基片玻璃上面通过磁溅蒸发等方式，镀上一层纳米铟锡薄膜。ito便是diutoxides的缩写，纳米铟锡这种导电的透明金属氧化物。

至于为何要用光刻机来处理ito，这又要说到液晶显示的基本原理。液晶分子可以偏转光线。精确控制液晶分子的角度就必须使用磁场。产生磁场的，就是这铟锡涂层了。光刻机将铟锡涂层处理成集成电路，精确的通过控制电路的开关以及电压、电流大小来操作显示内容。

液晶显示器如果用人眼极仔细的观察。除了视网膜屏幕，都是可以看到一个个最基本的显示单元——像素的。

这些像素根据显示方式不同。同样还能再分成三、或者六个基础显示色块。这三或者六个色块，就是标准的rgb颜色了。通常来说有的是一组三个rgb色块，也有上下排列的两组六个rgb色块。

最终铟锡图层光刻成的集成电路磁场，就要控制这些色块最终组合出16777216种颜色来……

所以说，将ito光刻当做是液晶面板的最核心技术，其实倒也未尝不可。

液晶显示器最关键的技术指标分辨率，实际上就是看生产企业的光刻机，能够在屏幕大小的ito上面，光刻出多小的像素单元。

在这方面，液晶显示器的制程指标，永远都是落后于芯片生产制程的。王中阳对于能够生产芯片光刻机的泛翰集团，可以说是充满了信心。

ito光刻机同样也是需要在1k级无尘室之中工作，这座试验楼的无尘室被安排在了地下室，周硕和黄慎带着王中阳坐上电梯，直下地下三层。

通过一整套熟悉的除尘处理，周硕三个人总算是进入了ito光刻机工作的无尘室。这里由于只是实验性质，无尘室设计的并不大。只是一个大概百来平的小实验室而已。

但即使如此，仍然还是看的王中阳赞叹连连。

“这就是1k级的无尘室？”王中阳穿着防尘服，有些好奇的上下打量着。

京东方这两年虽然境况好转，从破产的边缘爬了回来。但要说真的手里有多少余钱，却也不可能有泛翰集团这么财大气粗。

王中阳在组建液晶预研小组的时候，也曾经打算过要上一个1k级的无尘室。可是经过几次询价，他的这个念头就被打消掉了。

1k级的无尘室用的设备国内目前还提供不了，全套建设、施工和设备以及耗材都要从国外进口。建筑成本，一平米就要10万人民币。如果要建设一个100平米的实验室，光建设成本就超过了1000万人民币的造价，这还没算上实验设备。想建的小一点，单位成本就要剧增，因为100平米用的空调系统已经是最小的了。实验室规模再小，反而更加不经济。

不仅建设成本贵，建起来还不算完。这样一个实验室的维护成本，一个月还要10万人民币。

里外里算了半天帐，王中阳最终也没下了这个决心。

“王总这边请。”周硕安静的灯王中阳参观过了无尘室，然后站到了实验室的中央。这里有一个大概三米长、两米宽的设备，看起来应该是中科院微电子研究中心出品的08微米工艺光刻机。

只不过如今这台光刻机很多地方，已经显得和它原始的样子有些面目全非了。

最明显的地方，应该是它的工作台。原来用于光刻200单晶硅晶圆的工作台，现在已经被加大了数倍面积。由此带动的传动、对准等子系统的改进，可以说和重新设计一套光刻机系统也没什么区别了。

这还要多亏了尼康无私提供的光刻机成套设计资料，很多地方泛翰集团都参照尼康的技术对这台光刻机进行了改造。

而它之前复杂的棱镜系统也进行了精简，由于采用了接触式沉浸光刻技术，生产芯片用的复杂激光系统被极大的精简，但仍然保持了08微米的工艺水准。

造液晶面板不可能像芯片一样复杂，液晶显示器的光刻面积远超制造芯片的晶圆，如果让液晶显示器高的和同等面积的cpu一样，这恐怕就没人能买得起了。

王中阳虽然不懂光刻机，但没吃过猪肉总见过猪跑。凭借松下合资方的优势，他可是废了老大的劲儿才去过一次松下的液晶生产厂。虽然那不是一次愉快的参观记忆，但还是让他对ito光刻机有了一个初步的认识。

和他记忆中松下的生产设备比起来，单看卖相泛翰集团这台设备也不输给他们了。和土鳖产品的传统不同，这台经过改造的08微米光刻机性能如何不说，单看造型和涂装就有晃瞎人眼的效果。

王中阳几乎是贪婪的看着这台光刻机，和当初看到日本人光刻机时候的心情完全不同。这次他的心里不再是压抑和惴惴不安，而是充满了骄傲和自豪！

光刻机！光刻机！光刻机！